降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理办法如吸收、吸附、冷凝和焚烧等 ，关于低浓度的VOCs很难实现 ，而光催化降解VOCs又存在催化剂简单失活的问题 ，利用低温等离子体处理VOCs能够不受上述条件的约束，具有潜在的优势。但因为等离子体是一门包含放电物理学、放电化学 、化学反响工程学及真空技能等基础学科之上的交叉学科。因而, 现在能老练的把握该技能的单位十分的少 。大部分宣传选用低温等离子技能处理废气的宣传都不是真实意义上的低温等离子废气处理技能 。
在处理过程中 ，当有机气体进入冷离子体反响室时，气体被均匀分配到等离子反响室（PRC） 。反响室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反响室独立隔开。经过高压线对反响室导通可调节高压 ，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁发生放电现象。
一旦放电 ，等离子体电子就与气体分子相撞击，发生化学性活性核素，就是通常所说的急进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功用 ，该装置能够除尘。
同时注入环境或许二级气体来优化反响室的湿度和温度挂号，与此同时加入离子来改进反响室内的反响。这种冷离子体处理办法使有机气体在低温下进行“氧化”。
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